中微公司丛海：近3到5年将累计开发102个新设备 研发总投资近130亿元。

在今日举行的2026湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上，中微公司资深副总裁、全球业务管理部、等离子刻蚀产品总部、外延产品部及介质薄膜产品部总经理丛海表示，中微公司现有54种高端设备产品系列，研发周期从3-5年缩短至2年以内，每年开发20多种新设备。其透露，中微在近3到5年，将累计开发102个新设备，研发总投资近130亿元。所开发的设备包括集成电路前道所需的高端设备、后道先进封装所需的设备，以及泛半导体领域所需的设备。“在今后五到十年，中微和合作伙伴共同努力，将覆盖60%的集成电路高端设备巿场”。